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苏州精创光学仪器有限公司

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光谱共焦位移传感器
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2021-06-12 07:22
 
详细信息
 光谱共焦位移传感器

 

光谱共焦位移传感器可以实现对距离、 透明物体厚度和三维物体形貌等的精密测量。该仪器测量精度高,体积小,操作简单,携带方便。广泛应用于半导体、光伏、电子组件、汽车、玻璃面板、物流、食品等领域。

光谱共焦位移传感器主要由测量头、控制器、光纤组成。利用特定的彩色编码镜头使白光产生轴向色散,被测工件反射信号,经过光谱仪解析共焦光波信号,通过波长与位移转换曲线计算出工件位移测量值。 

 

设备特点如下:

1、稳定性好;

2、适用多种形貌特征测量;

3、设备轻巧,便于携带或易于集成自动化测量应用;

4、操作简单,测量精度高;

 

光谱共焦位移传感器技术参数如下:

 

1)测量范围:±3mm(位移) 0.5-2mm (玻璃厚度)

2)工作距离:55mm

3)光斑大小:10μm(量程中心位置理论光斑直径);

4)线性度:±1μm(校准后满量程测量时误差值)

5)分辨率:0.05μm(测量中心零点平均10噪声大小程度);

6)倾角:±10°(对于漫反射工件倾斜角度可以达到 80°);

7)测头尺寸:Φ33*75mm;

8)测头重量:150g

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